La tecnologia di misurazione del vuoto è una componente critica della scienza e della tecnologia del vuoto, con crescenti richieste sia nel settore della difesa che in quello civile. La misurazione accurata del livello di vuoto è particolarmente importante. I vacuometri sono ampiamente utilizzati nella produzione industriale, nelle apparecchiature per semiconduttori, nell'industria nucleare e in altri campi. I produttori di vacuometri di fama mondiale includono MKS Instruments e INFICON. Esistono due tipi comuni di vacuometro in base ai loro principi di funzionamento: uno è il vacuometro capacitivo metallico, rappresentato dall'approccio tecnico di MKS, e l'altro è il vacuometro capacitivo ceramico, rappresentato dall'approccio tecnico di INFICON. In generale, i vacuometri a capacità metallica offrono prestazioni migliori rispetto ai modelli a capacità ceramica, rendendoli più ampiamente adottati.
L'elemento sensibile di un vacuometro capacitivo metallico è costituito da una struttura capacitiva formata da un diaframma metallico di circa 40 μm di spessore e da un elettrodo ceramico. Come mostrato nelle figure sopra, il diaframma metallico viene allungato con una grande forza di tensione prima di essere saldato, creando una struttura in grado di resistere a pressioni di sovraccarico fino a centinaia di volte superiori al campo nominale. Quando viene applicata la pressione del vuoto al diaframma, questo si deforma, alterando la capacità tra l'elettrodo a diaframma metallico e l'elettrodo ceramico. Misurando questa variazione di capacità e calibrandola rispetto ai riferimenti di pressione del vuoto standard, è possibile determinare il valore del vuoto assoluto. Per migliorare la precisione della misurazione, all'interno della cavità viene posizionato un getter.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. ha sviluppato in modo indipendente il vacuometro VG750, ottenendo prestazioni paragonabili ai prodotti MKS e INFICON. Copre un intervallo di misurazione da 1 Torr a 1000 Torr ed è stato ampiamente adottato in applicazioni batch nell'industria dei semiconduttori e nel nucleare. Le sue specifiche prestazionali sono elencate nella tabella seguente. Le parti interessate sono invitate a contattarci per un utilizzo di prova.
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