I sensori di pressione vengono utilizzati per misurare la pressione di liquidi e gas. I tipi comuni includono sensori di pressione piezoresistivi in silicio MEMS, sensori di pressione risonanti in silicio MEMS, sensori di pressione capacitivi in ceramica, sensori di pressione capacitivi in metallo, sensori di pressione a film sottile-spruzzato e sensori di pressione con estensimetri metallici. I loro scenari operativi variano a seconda del principio di funzionamento.
Sensore di pressione piezoresistivo al silicio MEMS:Questo è il tipo di sensore di pressione più utilizzato. Il suo intervallo di misurazione principale copre da 15 kPa a 100 MPa, con una precisione tipica che va dallo 0,05% FS al 3% FS. L'intervallo della temperatura operativa è generalmente compreso tra -55 gradi e 180 gradi. Poiché è compatibile con i processi di produzione di semiconduttori-su larga scala, è poco costoso. Per la misurazione di liquidi è necessaria una confezione isolante riempita d'olio.
Sensore di pressione risonante al silicio MEMS: Questo sensore utilizza un design ingegnoso che converte la pressione in una variazione della frequenza di risonanza di un micro-fascio. Poiché la frequenza del raggio dipende solo dalla sua struttura e temperatura e beneficia di effetti di filtraggio, questo sensore raggiunge un'elevata precisione di uscita fino allo 0,01% FS. Il suo intervallo di misurazione della pressione principale copre da 100 kPa a 40 MPa, con un intervallo di temperatura operativa compreso tra -55 gradi e 85 gradi. A causa della produzione complessa e dei costi elevati, è adatto per applicazioni che richiedono una precisione estremamente elevata, come la lavorazione dei semiconduttori e la misurazione della profondità oceanica.
Sensore di pressione capacitivo ceramico:Il materiale ceramico offre un'eccellente resistenza all'usura, rendendo questo sensore adatto alla misurazione della pressione in miscele di sabbia e liquame. Fornisce inoltre una buona resistenza alla corrosione, consentendo la misurazione di liquidi corrosivi come l'acido solforico. Inoltre, i sensori di pressione in ceramica possono resistere al congelamento dell'acqua-una caratteristica non ottenibile con i sensori MEMS.
Sensore di pressione capacitivo in metallo:Questo sensore utilizza un diaframma metallico come elettrodo mobile sensibile alla pressione, formando un condensatore con un elettrodo fisso. Quando la pressione agisce sul diaframma, la capacità tra gli elettrodi cambia, stabilendo una relazione pressione-capacità. I diaframmi metallici possono essere realizzati con materiali resistenti alla corrosione come Inconel e possono misurare pressioni molto basse (0–1/10/100/1000 Torr). Di conseguenza, ha ampie applicazioni nella misurazione del vuoto e nella misurazione di gas speciali nell'industria dei semiconduttori.
SbagliatoThin-filmSensore di pressione e sensore di pressione con estensimetro in metallo:Entrambi i sensori sono dotati di un materiale-sensibile alla forza rivestito su un'ampia superficie metallica, che rende il prodotto robusto e durevole. Sono adatti per intervalli di alta pressione e applicazioni che richiedono elevata affidabilità, come prodotti gialli, motori diesel e macchine per la perforazione di tunnel. Questi sensori non sono facili da trasformare in sensori di pressione assoluta e in genere possono coprire intervalli massimi fino a 200 MPa o superiori. La prima immagine sopra mostra il nucleo di un sensore a pellicola sottile-sprutter, mentre la seconda immagine mostra un nucleo di estensimetro in metallo.
La selezione di un sensore di pressione deve essere basata sulle condizioni operative effettive per sfruttare appieno le sue prestazioni. Mihui Technology è specializzata in sensori di pressione basati su vari principi, offrendo capacità complete di progettazione, produzione e produzione per fornire ai clienti le soluzioni più adatte. Non esitare a contattarci se sei interessato:Numero di telefono: +8618066965135; E-mail: mihuitec@gmail.com
